EDS는 Energy Dispersive x-ray Spectroscopy라는 원소분석기로 EDS, EDX, EDAX 등으로 불린다. 흔히 사람들이 에닥스(EDAX)라고 부르며, EDAX는 EDS를 최초로 상품화 시킨 미국 소재의 회사 이름이다. 일반적으로 전자를 만들어 낼수 있는 장비에 장착하여 검출기의 형태로 사용되며, SEM(Scanning Electron Microscopy)이나 TEM(Transmission Electron Microscopy), 그리고 FIB(Focused Ion Beam)등의 공정 및 분석 장비에 가장 범용적으로 장착된다. 측정 원리는, 전류의 인가에 의해 생성된 전자를 가속시켜 시료와 충돌 시킨다. 이 때 시료에서는 내부 전자가 입사전자에 의해 외부로 튀어 나가게 되고(이를..
