EDS, EDX, EDAX 란?

EDS는 Energy Dispersive x-ray Spectroscopy라는 원소분석기로 EDS, EDX, EDAX 등으로 불린다.
흔히 사람들이 에닥스(EDAX)라고 부르며, EDAX는 EDS를 최초로 상품화 시킨 미국 소재의 회사 이름이다.

일반적으로 전자를 만들어 낼수 있는 장비에 장착하여 검출기의 형태로 사용되며,
SEM(Scanning Electron Microscopy)이나 TEM(Transmission Electron Microscopy), 
그리고  FIB(Focused Ion Beam)등의 공정 및 분석 장비에 가장 범용적으로 장착된다.

측정 원리는,
전류의 인가에 의해 생성된 전자를 가속시켜 시료와 충돌 시킨다.
이 때 시료에서는 내부 전자가 입사전자에 의해 외부로 튀어 나가게 되고(이를 이차전자, Secondary electron(SE)이라고 하며, 이 SE를 이용하여 시료의 고배율 이미지 관찰이 가능함) 빈 자리가 생성된다. 이 때 원자는 열역학적으로 에너지를 낮추기 위해 상위 궤도에 있는 전자가 빈 자리로 천이되어 원자를 안정화 시키는데,
이러한 과정에서 두 에너지 궤도의 차이 만큼이 X-ray의 형태로 발산되는데, 이 에너지를 측정함으로써 시료의 정성 분석이 가능하도록 만든 장비가 EDS이다.

X-ray 에너지는 모든 원자가 각자 다른 값을 가지고 있기 때문에 X-ray 에너지에 의해 모든 원자의 구분이 가능하며,  분해능은 현재 약 129eV이다.
또한 X-ray 에너지는 K, L, M, N.... 전자 궤도 껍질에 따라 각각 Ka, Kb.., La,..등등으로 세분화 되기 때문에 모든 에너지 값이 일치해야 정성분석이 맞는 결과를 나타낸다. EDS는 X축을 X-ray 에너지의 항으로, Y축을 intensity(a. u)로 그래프가 그려지는데, 이때 각 peak의 면적을 계산하여 검출된 원소들간의 상대적인 정량법 비교가 가능하다. 면적에 따른 상대적인 값만을 나타내므로 wt%, 또는 at%로 나타낸다.



※내용출처 : http://kin.naver.com/qna/detail.nhn?d1id=12&dirId=12&docId=20395556&qb=ZWRheA==
※사진출처 : http://www.edax.com/